Die Plasmaoberflächenreinigung ist ein Verfahren, bei dem Verunreinigungen und Verunreinigungen der Probenoberfläche durch Erzeugung von hochenergetischem Plasma aus gasförmigen Partikeln entfernt werden. Es wurde für verschiedene Anwendungen wie Oberflächenreinigung, Oberflächensterilisation, Oberflächenaktivierung, Änderung der Oberflächenenergie, Oberflächenvorbereitung zum Kleben und Kleben, Modifizieren der Oberflächenchemie.